Zračni kompresor brez olja za polprevodniške laboratorije

Če želite vzpostaviti zanesljive napajalne linije za natančne raziskovalne ustanove, dobavitelje dobaviteljev Semiconductor Labs dobite od kitajskih zračnih kompresorjev brez olja. DECHUAN-ove rešitve za zrak visoke čistosti uporabljajo večplastna ogljikova izolacijska tesnila za odstranjevanje sledov ogljikovodikov, kar zagotavlja prvotno kakovost plina za kritično jedkanje silicija.

Kritične zahteve glede čistosti plina v čistih prostorih

Pri izdelavi polprevodnikov in tankoplastni litografiji lahko že ena sama mikroskopska kapljica oljne pare, ki se prenaša skozi zračni vod, uniči celotno proizvodno serijo. Ta specializiran izdelek je zasnovan tako, da izpolnjuje absolutno najvišje standarde čistosti:

• TÜV Certified Class 0 Air Delivery: naši sistemi so podvrženi strogemu testiranju pri različnih delovnih temperaturah. Neodvisna analiza potrjuje absolutno nič sledi olja v izhodnem zračnem toku.

• Notranje zračne poti brez korozije: vsak kos cevi, snop hladilnika in ločevalna matrica za kompresijsko komoro je izdelan iz vrhunskega nerjavečega jekla, da prepreči, da bi kosmi rje onesnažili zračne napeljave čistih prostorov.

• Napredna integracija Elektronikon®: Integrirani krmilnik natančno sledi operativnim metrikam in ima proaktivne varnostne zaustavitve, da zagotovi, da nečist zrak nikoli ne vstopi v laboratorijsko mrežo.

Visoki stroški mikrokontaminacije v elektroniki

Pri izdelavi polprevodniških rezin lahko ena sama kapljica oljnega aerosola kontaminira celotno okolje čistih prostorov, uniči na tisoče silicijevih rezin in povzroči na milijone izgubljenega proizvodnega časa. Tradicionalni zračni kompresorji ne morejo zagotoviti absolutne čistosti brez vsebnosti ogljikovodikov, potrebne za te nanometrske postopke.

Specializiran zračni kompresor brez olja za Semiconductor Labs zagotavlja čisto varnost procesa:

• Certificiran pretok zraka RAZREDA 0: strogo testiran s strani TÜV v ekstremnih temperaturnih in tlačnih območjih za zagotovitev absolutne ničelne prisotnosti olja.

• Notranjost brez delcev: predhladilniki iz nerjavečega jekla in toplotni izmenjevalniki z zvezdastimi rebri odpravljajo oksidacijske kosmiče ali kemično odvajanje v zračni poti.

• Elektronski nadzorni ščit: proaktivni vzdrževalni alarmi in samodejni izklopi zaradi napak preprečujejo odstopanja sistema, preden pridejo do vaših orodij za čiste prostore.

Parametri tehnične čistosti

• Nazivna moč sistema: 55kw - 900kw konfiguracije visoke gostote.

• Volumetrični pretok: 4,2 - 148,5 m³/min izhod čistega toka.

• Klasifikacija vsebnosti olja: ISO 8573-1 razred 0 validacija popolnoma brez olja.

• Razporeditev hlajenja: Hlajenje s tekočino iz nerjavečega jekla preprečuje kemično izločanje plinov.

Referenčni pogoji delovanja za enoto so bili izmerjeni v skladu s Prilogo C, 4. izdaja (2009) standarda ISO 1217:

· Relativna vlažnost: 0%

· Absolutni vstopni tlak: 1 bar

· Vhodna temperatura: 20°C Stopnja praznjenja (FAD) je bila izmerjena pri naslednjih delovnih tlakih:

Tip s konstantno hitrostjo:

·  -7,5 bar tip: 7 bar

· -8,6 bar tip: 7 bar

· -10 bar tip: 9 bar

Vrsta VSD:

· -8,6 bar tip: 7 bar

· -10,4 bar tip: 9 bar

· (2) Utežena raven zvočnega tlaka emisije razreda A delovne postaje (LpWSAd). Merjeno v skladu z ISO 2151:2004 (z uporabo metode skeniranja jakosti zvoka 150 9614/2). Na novo dodan korekcijski faktor je popolnoma negotova vrednost (KpAd), skladna s testno kodo.

· (3) Teža je samo za referenco; prevlada dejanska dobavljena teža.

ZR/ZT 110-160 (FF) STD

V skladu z ISO 1217 Dodatek C, 4. izdaja (2009) so referenčni pogoji zmogljivosti enote naslednji:

· Relativna vlažnost: 0%

· Absolutni vstopni tlak: 1 bar

· Vhodna temperatura: 20°C

Prostornina FAD se meri pri naslednjih delovnih tlakih:

Modeli s konstantno hitrostjo:

-7,5 bar modeli: 7 bar

-8,6 bar modeli: 7 bar

-10 bar modeli: 9 bar

Modeli VSD:

-8,6 bar modeli: 7 bar

-10,4 bar modeli: 9 bar

(2) Raven zvočnega tlaka delovne postaje z uteženo emisijo razreda A (LpWSAd). Merjeno v skladu z ISO 2151:2004 (metoda skeniranja zvočne jakosti ISO 9614/2). Na novo dodan korekcijski faktor KpAd je negotov in je v skladu s kodo za testiranje.

(3) V1=380V, V2=400V.

(4) Teža je samo za referenco; prevlada dejanska teža.

ZR/ZT 200-275 (FF)

-Relativna vlažnost: 0%

-Absolutni vstopni tlak: 1bar

-Vhodna temperatura: 20°℃

Stopnja praznjenja (FAD) je bila izmerjena pri naslednjih delovnih tlakih

Tip s konstantno hitrostjo:

-7,5 bar tip: 7 bar

-8,6 bar tip: 7 bar

-10 bar tip: 9 bar

Vrsta VSD:

-8,6 bar tip: 7 bar

-10,4 bar tip: 9 bar

(2) Raven zvočnega tlaka delovne postaje z uteženo emisijo razreda A (LpWSAd).

Merjeno v skladu z ISO 2151:2004 (z uporabo 150 9614/2 (metoda skeniranja jakosti zvoka).

Na novo dodan korekcijski faktor je popolnoma negotova vrednost (KpAd), skladna s testno kodo.

(3) Teža je samo za referenco; prevlada dejanska dobavljena teža.

ZR 300-750

Referenčni pogoji delovanja za enoto so bili izmerjeni v skladu s Prilogo C, 4. izdaja (2009) standarda ISO 1217:

· Relativna vlažnost: 0%

· Absolutni vstopni tlak: 1 bar

· Vhodna temperatura: 20°C Stopnja praznjenja (FAD) je bila izmerjena pri naslednjih delovnih tlakih:

Tip s konstantno hitrostjo:

·  -7,5 bar tip: 7 bar

· -8,6 bar tip: 7 bar

· -10 bar tip: 9 bar

Vrsta VSD:

· -8,6 bar tip: 7 bar

· -10,4 bar tip: 9 bar

· (2) Utežena raven zvočnega tlaka emisije razreda A delovne postaje (LpWSAd). Merjeno v skladu z ISO 2151:2004 (z uporabo metode skeniranja jakosti zvoka 150 9614/2). Na novo dodan korekcijski faktor je popolnoma negotova vrednost (KpAd), skladna s testno kodo.

· (3) Teža je samo za referenco; prevlada dejanska dobavljena teža.

ZR 200X-400X

Referenčni pogoji delovanja za enoto so bili izmerjeni v skladu s Prilogo C, 4. izdaja (2009) standarda ISO 1217:

· Relativna vlažnost: 0%

· Absolutni vstopni tlak: 1 bar

· Vhodna temperatura: 20°C Stopnja praznjenja (FAD) je bila izmerjena pri naslednjih delovnih tlakih:

Tip s konstantno hitrostjo:

·  -7,5 bar tip: 7 bar

· -8,6 bar tip: 7 bar

· -10 bar tip: 9 bar

Vrsta VSD:

· -8,6 bar tip: 7 bar

· -10,4 bar tip: 9 bar

· (2) Utežena raven zvočnega tlaka emisije razreda A delovne postaje (LpWSAd). Merjeno v skladu z ISO 2151:2004 (z uporabo metode skeniranja jakosti zvoka 150 9614/2). Na novo dodan korekcijski faktor je popolnoma negotova vrednost (KpAd), skladna s testno kodo.

· (3) Teža je samo za referenco; prevlada dejanska dobavljena teža.

Študija primera uporabnika laboratorija Cleanroom

Proizvajalec elektronike v Aziji je namestil DECHUAN-ov specializirani zračni sistem za dobavo zank za generiranje dušika visoke čistosti in pnevmatskih preskusnih rok. Prej so standardni kompresorji dovoljevali, da so oljne pare v sledovih migrirale mimo vgrajenih filtrov, prekrivale litografske leče in povzročale mikro zlome v prevlekah rezin. Po namestitvi zračnega kompresorja brez olja za Semiconductor Labs je laboratorij poročal o ničelnem onesnaženju napeljave, povezanem z oljem, kar je prihranilo znatne stroške čiščenja čistih prostorov in ponovnega umerjanja v dveh letih neprekinjenega delovanja.

Prikrojevanje in nadzor komponent po meri

• Nadgradnja materiala iz nerjavečega jekla: vse standardne notranje lite komponente zamenjamo z visoko kakovostnim nerjavečim jeklom, da izpolnimo stroge smernice glede mikrokontaminacije.

• Napredni komunikacijski protokoli: Enota je vnaprej naložena s posebnimi komunikacijskimi protokoli, ki nadzornim centrom čistih prostorov omogočajo daljinsko spremljanje meritev zraka.

• Kompakten strukturni odtis: notranja postavitev je optimizirana za zmanjšanje odtisa, kar olajša namestitev v tesnih laboratorijskih kletnih prostorih.

Pogosta vprašanja za industrijske kupce

V: Ali lahko ta kompresor priključimo neposredno na filtrirne zanke ultra visoke čistosti (UHP)?

O: Da, naš izpust zraka je popolnoma združljiv z naprednimi sušilnimi sušilniki čistih prostorov in sistemi za filtriranje submikronskih delcev. Ker surovi zrak ne vsebuje oljnih hlapov, vaši specializirani filtri na mestu uporabe ne bodo zamašeni z oljno meglico, kar podaljša življenjsko dobo filtra.

V: Kako tesnila tipa Z zagotavljajo ničelno selitev olja iz zobniškega sklopa?

O: Brezoljni zračni kompresor za Semiconductor Labs ima fizični atmosferski odzračevalni prostor med z oljem mazanim ohišjem gonila in suho kompresijsko komoro. Posebna brezkontaktna karbonska tesnila obroča so povezana s kanali podtlaka, kar zagotavlja, da je kakršna koli meglica olja v menjalniku popolnoma blokirana pred vstopom v tok čistega zraka.

V: Kaj se zgodi, če senzor notranje temperature zazna nenormalen odčitek?

O: Krmilnik Elektronikon® vzorči pomembne podatke večkrat na sekundo. Če je na kateri koli stopnji zaznan temperaturni skok, sistem takoj sproži samodejni izklop in zapre izolacijske ventile, s čimer zagotovi, da neohlajen zrak nikoli ne teče navzdol v občutljivo opremo vašega laboratorija.